พารามิเตอร์ทางเทคนิค:
| รายการ | พารามิเตอร์ |
| ระยะทดสอบ | 0.01~6500(ซีซี/ตร.ม.24ชม.) |
| อัตราส่วนความละเอียด | 0.001 |
| พื้นที่ผิวการซึมผ่าน | 50 c㎡(ส่วนอื่นๆ ต้องทำการสั่งซื้อเอง) |
| การวัดขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของไมโครนิวเคลียส | 108*108มม. |
| ความหนาของตัวอย่าง | <3 มม. (หนากว่าต้องเพิ่มอุปกรณ์เสริม) |
| ตัวอย่างปริมาณ | 1 |
| โหมดทดสอบ | เซ็นเซอร์อิสระ |
| ช่วงอุณหภูมิ | 15℃ ~ 55℃ (ต้องซื้ออุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิแยกต่างหาก) |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±0.1℃ |
| ก๊าซพาหะ | ไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง 99.999% (ผู้ใช้แหล่งอากาศ) |
| อัตราการไหลของก๊าซพาหะ | 0~100 มล./นาที |
| แรงดันอากาศ | ≥0.2เมกะปาสคาล |
| ขนาดของอินเทอร์เฟซ | ท่อเหล็กขนาด 1/8 นิ้ว |
| ขนาด | 740มม. (ยาว)×415มม. (กว้าง)×430มม. (สูง) |
| แรงดันไฟฟ้า | ไฟฟ้ากระแสสลับ 220V 50Hz |
| น้ำหนักสุทธิ | 50กก. |