พารามิเตอร์ทางเทคนิค:
| รายการ | พารามิเตอร์ |
| ช่วงการทดสอบ | 0.01~6500 (ซีซี/ตร.24 ชม.) |
| อัตราส่วนความละเอียด | 0.001 |
| พื้นที่ผิวที่ซึมผ่านได้ | 50 ตร.ม. (ขนาดอื่นๆ ต้องสั่งทำพิเศษ) |
| การวัดขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของไมโครนิวเคลียส | 108*108 มม. |
| ความหนาของตัวอย่าง | <3 มม. (ถ้าหนากว่านี้ต้องเพิ่มอุปกรณ์เสริม) |
| ปริมาณตัวอย่าง | 1 |
| โหมดทดสอบ | เซ็นเซอร์อิสระ |
| ช่วงอุณหภูมิ | 15℃ ~ 55℃ (อุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิต้องซื้อแยกต่างหาก) |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±0.1℃ |
| ก๊าซพาหะ | ไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง 99.999% (ใช้แหล่งจ่ายจากอากาศ) |
| การไหลของก๊าซพาหะ | 0~100 มล./นาที |
| แรงดันแหล่งอากาศ | ≥0.2MPa |
| ขนาดของอินเทอร์เฟซ | ท่อโลหะขนาด 1/8 นิ้ว |
| มิติ | 740 มม. (ยาว) × 415 มม. (กว้าง) × 430 มม. (สูง) |
| แรงดันไฟฟ้า | ไฟฟ้ากระแสสลับ 220 โวลต์ 50 เฮิรตซ์ |
| น้ำหนักสุทธิ | 50 กก. |